スプリング プローブは、荷重前後の物体の表面形状の変化を検出するために使用される特定の検出デバイスです。 スプリングヘッドとサンプルホルダーで構成されており、スプリングヘッドは設定した力に応じて動き、表面に吸着し、サンプルホルダーはサンプルをクランプすることでチャックに固定されます。
スプリング プローブの利点は、小さな力で移動できることです。これにより、グリッパーの位置が変化しない場合でも、試験片に負荷をかけることなく、試験片表面の曲率の正確な測定と画像比較が可能になります。 同時に、均一な詳細検出を備えており、サイズや表面トポグラフィーに制限されることなく、ほぼすべてのタイプのサンプルを測定できます。

さらに、スプリングプローブは、測定の精度を確保するために、コレットと測定周波数を正確に制御できる必要があります。 さらに、サンプルの負荷状態がスプリングのリバウンドの速度に影響するため、プローブは、対応するさまざまなサンプルの種類に応じて測定トルクを調整して、測定結果の精度を確保し、正確な表面トポグラフィー情報を取得する必要があります。

また、スプリングプローブの長期的な信頼性を確保するためには、摩耗や経年劣化の問題にも注意を払う必要があり、加えて、変形などの詳細を定期的に点検および保守する必要があります。

